扩散工序总结
发布时间:2013-01-18     来源: solarzoom
本文摘要:一,扩散核心内容扩散就是将酸洗好的硅片经过高温扩散,在硅片表面形成一层很薄的膜,使硅片产生电流,即使硅片形成PN结。1:...

  四,插卸片员工须知

  1:插片必须做到:插片手法轻;

  没有声音;

  无碰撞;

  降落速度慢;

  2:卸片员工须知:卸片手法轻;

  尽量握些;

  扩散面必须向上;

  手不要抬的过高,(减少硅片下落时的冲击面)

  3:每个炉管接班后的第一炉必须待方块电阻,少子寿命全部测完后方可卸片。防止出现返工片。

  五,返工片的处理

  1:方块电阻偏大的返工片,放入炉管中用返工工艺返工。

  2:方块电阻偏小的返工片,返回一次清洗重新制绒返工。

  六:扩散员工需要注意的安全事项:

  1:插片时袖子带到硅片,造成碎片。

  2:吸笔掉落砸坏硅片。

  3:抬舟转身时撞到人或插片台,造成硅片和石英舟的损坏。

  4:从保护柜中抬舟时注意当心保护柜门掉落砸坏硅片和石英舟。

  5:抬舟时注意脚底打滑而摔倒。

  6:舟叉插入石英舟时当心撞坏石英舟边上的硅片。

  7:抬舟,抽片,卸片是当心被石英舟或硅片烫伤

  8:换三氯氧磷时必须要有两人,换源者必须戴防毒面具,乳胶手套。

  9:关源瓶时,先关进气管,再关出气管。换上的新源瓶,先开出气管,再开进气管。(换源时手法必须轻柔)

  10:拿源瓶时必须一手握瓶颈,一手拖瓶底。切不可只抓瓶颈。

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