四,插卸片员工须知
1:插片必须做到:插片手法轻;
没有声音;
无碰撞;
降落速度慢;
2:卸片员工须知:卸片手法轻;
尽量握些;
扩散面必须向上;
手不要抬的过高,(减少硅片下落时的冲击面)
3:每个炉管接班后的第一炉必须待方块电阻,少子寿命全部测完后方可卸片。防止出现返工片。
五,返工片的处理
1:方块电阻偏大的返工片,放入炉管中用返工工艺返工。
2:方块电阻偏小的返工片,返回一次清洗重新制绒返工。
六:扩散员工需要注意的安全事项:
1:插片时袖子带到硅片,造成碎片。
2:吸笔掉落砸坏硅片。
3:抬舟转身时撞到人或插片台,造成硅片和石英舟的损坏。
4:从保护柜中抬舟时注意当心保护柜门掉落砸坏硅片和石英舟。
5:抬舟时注意脚底打滑而摔倒。
6:舟叉插入石英舟时当心撞坏石英舟边上的硅片。
7:抬舟,抽片,卸片是当心被石英舟或硅片烫伤
8:换三氯氧磷时必须要有两人,换源者必须戴防毒面具,乳胶手套。
9:关源瓶时,先关进气管,再关出气管。换上的新源瓶,先开出气管,再开进气管。(换源时手法必须轻柔)
10:拿源瓶时必须一手握瓶颈,一手拖瓶底。切不可只抓瓶颈。