扩散工序总结
发布时间：2013-01-18     来源： solarzoom
本文摘要：一，扩散核心内容扩散就是将酸洗好的硅片经过高温扩散，在硅片表面形成一层很薄的膜，使硅片产生电流，即使硅片形成PN结。1：...

　　↓

　　退舟

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　　测片

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　　卸片

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　　返工片―↓―合格片

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　　下一道工序（二次清洗）

　　三，扩散常见的问题与原因

　　1：方块电阻偏大

　　原因：换新片源；

　　扩散的温度偏小；

　　扩散时间太短；

　　三氯氧磷流量偏小；

　　2：方块电阻偏小

　　原因：换新片源；

　　扩散的温度偏大；

　　扩散时间太长；

　　三氯氧磷流量偏大

　  3：炉口电阻偏的大

　　原因：石英门没有关紧；

　　前限位开关已坏；

　　密封圈坏掉；

　　炉口温度偏低；

　　4：少子寿命低于规定范围

　　原因：片源问题；

　　一次清洗没有制绒好；

关键词：太阳能　原料　表面　

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