4.结论
多晶硅锭生长方法有传统的THM法和新提出的SRS法。生长的硅锭通过测量晶粒大小,少子寿命,EPD和碳浓度来进行评估。从THM硅锭的结果来看,这是表明,减少溶化硅锭里的二氧化碳浓度和对过冷的抑制是获得高质量的多晶硅锭重要因素。从这一点出发,我们研发了SRS方法。在SRS法和传统方法铸造的硅锭相比,SRS法铸造的硅锭中小晶粒的数量极大的减少了。此外,SRS法铸造的硅锭少子寿命、EPD,估计的替代碳浓度的钢锭也有所改善。这些结果证实了SRS法的有效性。
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