定向凝固多晶硅锭，通过传统的移动加热的方法和新提出的一种叫做SRS的方法。

　　1.介绍

　　光伏市场正在持续增长，在2005年大概制造了1.8兆瓦光伏组件。大部分光伏组件包括晶体硅太阳能电池，大约有三分之二的太阳能电池是用多晶硅基板做的，因为多晶基板的生产成本比单晶低。然而，多晶硅基的太阳能电池在能量转换率比单晶硅基的太能电池相对低一些。因此，通过提高多晶硅基板的质量来提高其转换效率还是有一定空间的。另一方面，提高多晶硅锭的增长率和使用劣质的硅原料是需要进一步降低成本。他们可能降低多晶硅基板的质量。要想解决这个矛盾问题，重要的还是要理解定向凝固的过程并控制它。

　　凝固的过程可以分为两种：带/片方法和铸造的方法。带/片方法又包括RGS、EFG、SR、MW等。带/片方法的一个优点就是省掉了切片这个步骤。然而，和铸造方法生长的基片相比，带/片方法生长出来的基片的质量要略微差一些。铸造的方法包括传统的铸造，热交换器法、电磁铸造(EMC)、移动加热器法（THM）等。凝固的过程和相关的研究参照[7,8]，在这项研究中，作者选用了移动加热器炉，因为其简单性和可扩展性。运用多种加热器，我们已经生长出了多晶硅锭，传热速率和VH’s，VH是确定硅锭质量的一个重要参数。我们已经知道以THM方法生长出来的的硅锭的特性。从THM方法铸造硅锭的结果来看，我们提出一种新的方法，叫做SRS法。本文介绍了SRS法在多晶铸锭上的优势。

　　2.实验步骤

　　我们用移动加热器生长炉（原型如图1所示）做长晶实验。该炉有四个独立的加热器，但只有顶部加热器和上部加热器运用到了这项研究中。图2显示了两个加热器和坩埚底部的典型温度趋势图，我们用在现在实验中的硅原料都是不合格的电子级原料。掺杂了硼的P型原料在顶部和上部加热器温度达到1550℃的时候就会融化在涂有氮化硅涂层的石英坩埚里。在生长的过程中，炉内要充进惰性气体（氩气），加热器的温度要控制在1450℃。