图2 含有冷氢化工序的改良西门子法多晶硅生产工艺流程简图

　　此工艺主要包括制氢、还原、冷氢化、干法尾气回收、精馏提纯、成品破碎包装、硅芯拉制、废气及残夜处理、公用工程等工序。

　　电力对多晶硅生产成本的影响

　　电力成本是整个改良西门子法多晶硅生产成本中最重要的部分，其控制的好坏直接影响多晶硅产品的市场竞争力。而影响多晶硅成本的主要因素就是电价和电耗。

　　1、电价的影响：

　　不同地区的电价是不尽相同的，因此这对于新建企业而言是具有选择权的，他们可以在建厂之前选择适合自己电价供应的地区。但对于已经建成的企业而言，电价是无法选择的，只有被动接受。当然对于这些企业，可以在扩大生产规模的时候考虑热电联产来降低企业的电力成本和热能成本，这一点可以参考国内的造纸行业的做法。瓦克最大的生产基地博格豪森工厂中间就有一条河流穿过，瓦克在其上面就建有一座水电站，向自己的工厂供电。

　　2、电耗的影响：

　　一般对于多晶硅生产而言衡量电耗指标的主要数据是综合电耗和还原电耗，其中综合电耗是反映整个多晶硅生产过程耗用电量的参数，还原电耗是反应多晶硅还原炉耗用电量的指标，综合电耗包含还原电耗。在多晶硅生产统计中，所有的电耗都是以企业变电站的电表为基础的，故还原用电量就是企业变电站中通向还原车间的线路的电表读数，氢化用电量就是企业变电站中通向氢化车间的线路的电表读数，而综合电量就是电力公司供给企业的实际用电量。

　　然而，或许是为了对外数据的美观还是其他原因，现在一些多晶硅企业对外公布的还原电耗是纯粹还原炉运行所消耗的电耗，即还原的电表安装在还原车间，其读数不包含还原仪表、电气、变压器及其他电损等所消耗的电量。氢化电耗也采用此数据进行统计。更有甚者，有些企业的统计的综合电耗是剔除公用工程以外的主车间的实际电耗。笔者虽然没有仔细算过这些除还原炉直接耗电以外的其他设备的耗电量是多少，其占真正意义上的还原电耗的比例有多大，但是这明显是一种投机取巧的做法，并美其名曰为“计算口径不同”。