对更大容量的前驱物的需求，以便在高产出、低成本情况下做到大面积沉积，导致大量创新设备开发以向增长工具散装输送化学品为目标。更安全的处理更大批量，有助于通过降低工具的维修时间和小批量试产的要求，从而减少沉积过程的整体拥有成本。使用较大的批量和上述规模经济，而不影响产品的质量，是使客户获得经济可行的工艺和通过一种可靠和可持续的方式满足客户需求的关键因素。

　　对于液态前驱物，散装运输最理想的方法涉及到将产品泵入一个工具进行汽化处理，该方法通常用于较小的批量。该方法的优点是，仅需对现有设备进行简单改造，无需更改工艺参数。另外，对于连续使用相同工艺的生产工具的拥有成本方面，优势更加明显。要优化产出，所有沉积工具上的负载应尽可能100%相似。在前驱物批减少而需要补充时，替换起泡器所花的维护时间，可能对工艺的经济性不利。利用增加通过按键补充工具容器并立即迅速恢复生产的功能，即可节省时间和金钱。明显地，危险性很高的化学物质在两个点之间以一种安全坚固的方式移动，需要使用特制的设备。前驱物供应商已经将他们的专业知识融入系统设计中，例如，SAFC Hitech的EpiFillTM，如图6所示。通常，设计中均加入了从同一个贮液器向多个容器供给的功能，以获得最高效率。

　　对于传送固态前驱物或需要安装简化的沉积工具的另一个方法，是使用散装汽化装置。该装置可将前驱物蒸汽通过一种混合总管直接供应到沉积仓内，而不需要对每个系统安装多个单独控制的温度环境。对于液体，停机时间缩短的成本优势非常有吸引力，将蒸发阶段从生长试剂盒中移除后，无需利用复杂的系统也可对进入沉积仓的气体进行控制，使工艺控制更加可靠。再者，化学品供应商已运用他们的专业知识开发出可靠耐用的设备，可以安全、可靠地运送所需体积的前驱物蒸汽，使用户从该技术中受益。图7为一种可用于在汽化阶段提供所需浓度源的蒸汽装置，以满足高输出沉积工具的需求。