在不进行实际增长实验的情况下评估前驱物自身的质量,需要依据参照值,对物理杂质的水平进行仔细对比。对于O类物质,研究发现,产品质子核磁共振(NMR)中的醇化物峰值可直接用于标示性能方面的提高。图4显示了三甲基铝(Me3Al)样品中探测到的O类物质水平;图5突出显示了使用这些样品时,沉积的镓铝砷(AlGaAs)的属性。两组数据之间的直接对比清楚地表明,源污染水平低于1ppm对获得最高质量的成品膜是至关重要的。
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