特点:湿法可用氢氟酸和硝酸体系或强碱,将暴露的重扩散层腐蚀成浅扩散层。要求耐腐蚀浆料。干法等离子体,用四氟化碳或氟化氮等氟化物形成的氟离子来刻蚀暴露的中掺杂部分。干法也可用银浆做掩膜。
五、LDSE(新南威尔士)
特点:用到激光和电镀,工序多,工艺复杂。电镀有多种选择。电镀的银的导电性约是银浆的10 倍。可以节省贵金属。用镍铜银,或镍铜锡结构,可以省掉贵金属。可以把删线做的很密很细,或其他优化结构。
六、 硅墨技术(Innovalingt,OTB)
特点:只需增加一台印刷机,就可实现较大幅度的效率提升。在现有工艺设备基础上也容易升级。