实验数据与分析
　　实验结果主要从扩散方阻均匀性、表面浓度与洁深、电性能参数来分析。对于方块电阻均匀性，主要还是要保证表面亲水性好、喷涂均匀、扩散恒温场均匀。对于多晶材料稍差的电池片，可以双面喷涂扩散，大大提高了磷吸杂，减少了材料本身的有害杂质，降低了复合速率。
　　 实验调节的方向，主要是从源量、扩散时间、扩散温度等方向进行调节，本实验0.09~0.011mg/片，方阻70~75，扩散时间660s。
　　目前，BTU链式扩散炉在大规模生产上比较主流，每小时1800片，转换效率平均16.90%。

相关事项
　　链式扩散与管式扩散相比，相同工艺条件下，表面浓度高、结浅，适合做高效电池和高方阻工艺的深入研究。
　　方块电阻均匀性能够达到±2以内，使PN结更加平整。
　　与比管式扩散相比，扩散源磷酸比三氯氧磷更加环保安全，110ml的混合液可以生产单晶3600片，多晶3000片。
　　自动化程度高，可以与现有制绒和边缘刻蚀工艺相连接，大大提高了产能，达到2000片/hr以上，对于提高和稳定转换效率起到一定作用。
　　生产中维护简单，与管式相比不需要做TCA或清洗石英管，不间断在线清洗，大大提高产能，降低了运营成本。
　　扩散重掺杂区是链式进一步提高转换效率的重点解决问题之一，通过所气相腐蚀的方法，大大可以降低表面复合速率，使Voc和Isc得到明显的改善。
　　高方阻工艺是链式扩散提高转换效率的必然方向，如果在实现高方块电阻的前提下，薄层电阻分布及其均匀，可得到很好的结平整度，效率将得到大幅度提升。