用于晶体硅太阳能电池链式扩散工艺
发布时间:2012-09-18     来源: 《光伏产业观察》杂志
本文摘要:作者:中盛光电集团研发中心 太阳能电池研发部经理 初仁龙随着光伏行业迅猛发展,对于提高电池转换效率,降低生产成本显得尤为重要,面临...
    作者:中盛光电集团研发中心 太阳能电池研发部经理  初仁龙 
    随着光伏行业迅猛发展,对于提高电池转换效率,降低生产成本显得尤为重要,面临着传统管式扩散方式带来的高耗能、低产能的诸多问题,一种新的链式扩散方式得以应用,它具有产能大、运营成本低、排放物环保、自动化程度高等优势,得到了广大客户的认可。目前,已经在国内外几家一线太阳能电池大厂得到较好的推广,无论是在常规电池还是高效电池,都有很大潜力去挖掘。
高效晶体硅太阳能电池链式氧化工艺
  高效电池开发的努力方向:1、硅片缺陷钝化(SiO2、SiNx、Al2O3、α-Si等) ; 2、电极设计优化(降低遮光,降低串阻);3、原料质量控制(低缺陷,高少子寿命)。
  产业化生产高效电池的努力方向:1、高效的产出率; 2、稳定的优质率; 3、高度的自动化 。
  PERC和PERL等高效电池的结构,都用到了热生长SiO2的钝化。我们结合现有使用的高效率的链式扩散技术,尝试探讨链式氧化工艺运用的可行性。
 

  运输方式 :合金履带式
  硅片材料 :5寸CZ单晶硅片
  硅片厚度 :180±10mm
  电阻率 :1-3Ω·cm
  少子寿命测试:Semilab  WT-2000
  开路电压测试:万用表
 实验数据
  A、氧化温度 。
  在这个条件中,我们全部的氧化时间为12minute。
      

  可以看出,低温氧化时,由于SiO2的存在,硅片的少子寿命较正常的略有提高,但是随着氧化温度的不断提高,少子寿命下降严重,说明硅片本身质量不高,高温下生成缺陷的影响远高于SiO2钝化的影响。
  B、氧化时间
  恒温区温度为900℃,氧化时间分别取18minute、12minute、10minute;
  对应带速为10ipm、15ipm、18ipm;
      

  结果表明,随着高温时间的减少,硅片的少子寿命呈上升趋势。越长时间的高温带来越多的热损伤。

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