本文摘要：作者：中盛光电集团研发中心 太阳能电池研发部经理 初仁龙随着光伏行业迅猛发展，对于提高电池转换效率，降低生产成本显得尤为重要，面临...

    作者：中盛光电集团研发中心 太阳能电池研发部经理  初仁龙 
    随着光伏行业迅猛发展，对于提高电池转换效率，降低生产成本显得尤为重要，面临着传统管式扩散方式带来的高耗能、低产能的诸多问题，一种新的链式扩散方式得以应用，它具有产能大、运营成本低、排放物环保、自动化程度高等优势，得到了广大客户的认可。目前，已经在国内外几家一线太阳能电池大厂得到较好的推广，无论是在常规电池还是高效电池，都有很大潜力去挖掘。
高效晶体硅太阳能电池链式氧化工艺
　　高效电池开发的努力方向：1、硅片缺陷钝化（SiO2、SiNx、Al2O3、α-Si等） ； 2、电极设计优化（降低遮光，降低串阻）；3、原料质量控制（低缺陷，高少子寿命）。
　　产业化生产高效电池的努力方向：1、高效的产出率； 2、稳定的优质率； 3、高度的自动化 。
　　PERC和PERL等高效电池的结构，都用到了热生长SiO2的钝化。我们结合现有使用的高效率的链式扩散技术，尝试探讨链式氧化工艺运用的可行性。
 

　　运输方式 ：合金履带式
　　硅片材料 ：5寸CZ单晶硅片
　　硅片厚度 ：180±10mm
　　电阻率 ：1-3Ω·cm
　　少子寿命测试：Semilab  WT-2000
　　开路电压测试：万用表
 实验数据
　　A、氧化温度 。
　　在这个条件中，我们全部的氧化时间为12minute。
      

　　可以看出，低温氧化时，由于SiO2的存在，硅片的少子寿命较正常的略有提高，但是随着氧化温度的不断提高，少子寿命下降严重，说明硅片本身质量不高，高温下生成缺陷的影响远高于SiO2钝化的影响。
　　B、氧化时间
　　恒温区温度为900℃，氧化时间分别取18minute、12minute、10minute；
　　对应带速为10ipm、15ipm、18ipm；
      

　　结果表明，随着高温时间的减少，硅片的少子寿命呈上升趋势。越长时间的高温带来越多的热损伤。