晶体硅太阳电池烧结炉技术研究
本文摘要: 白 路 梁宗存 欧阳红群 沈 辉 (中山大学太阳能系统研究所,广州 580021) 摘要: 本论文介绍了目前国内外主要的烧...
白 路 梁宗存 欧阳红群 沈 辉
(中山大学太阳能系统研究所,广州 580021)
摘要:
本论文介绍了目前国内外主要的烧结炉设备制造商及其设备,对烧结炉内部结构的最新发展如:硅片支架、瓷辊、进气换热结构、具有反射性能的灯管、废气处理器等的结构特点,做了深入分析,总结了验证烧结炉功能的常规测试方法。
关键词:太阳电池烧结炉内部结构测试方法
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