PERL高效硅太阳能电池背面激光重掺杂的研究
发布时间：2013-07-31
编辑：haoshiguang
本文摘要： 杨 涛，梁 宗 存*，陈树拳 （中山大学太阳能系统研究所，光电材料与技术国家重点实验室 广州 510275） 摘要 激光掺杂...
杨 涛，梁 宗 存*，陈树拳
（中山大学太阳能系统研究所，光电材料与技术国家重点实验室 广州 510275）
摘要 激光掺杂可控性强，工艺简单快捷，采用激光实现重掺杂可以降低对材料产生的诱导损伤。本文介绍了在PERL电池背面采用激光实现局部区域重掺杂，并考虑Al2O3钝化膜的膜厚的改变，分析了激光波长、激光脉冲个数、激光能量密度和Al2O3钝化膜的厚度对掺杂效果的影响，简单分析了采用激光重掺杂制备的PERL电池的各项电学参数。
关键词 激光掺杂；PERL电池；重掺杂；钝化膜
专题报道
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