高效大面积纳米硅基薄膜叠层太阳电池技术
本文摘要: 张津岩*[1],徐希翔[1],胡安红[1],曲铭浩[1],郁操[1,2],汝小宁[1], 彭长涛[1],何嵩[1],单洪青[1],林福荣[2],李沅民[1]...
张津岩*[1],徐希翔[1],胡安红[1],曲铭浩[1],郁操[1,2],汝小宁[1],
彭长涛[1],何嵩[1],单洪青[1],林福荣[2],李沅民[1],
张晓丹[3],赵颖[3]
(1、铂阳装备集团公司研发中心,610200;2、汉能创昱科技有限公司,102209;3、南开大学,300071)
近十几年来,硅基薄膜太阳能电池技术,尤其是纳米硅电池技术在研发和生产上取得了显著的进步。本文主要介绍我们在面积为1245mm*635mm的玻璃基板上开发的纳米硅薄膜太阳电池技术的主要进展。主要包括以下几个方面的内容:1)不同纳米硅沉积速率的工艺优化;2)在a-Si与nc-Si,或a-SiGe与nc-Si子电池间的NP隧穿结的材料特性的改善;3)采用不同的TCO玻璃,如不同的FTO以及自主研发的掺B的ZnO(BZO)薄膜,制备出的纳米硅电池特性的比较;4)a-Si/nc-Si双结电池与a-Si/a-SiGe/nc-Si三结电池IV特性分析;5)激光刻线的工艺优化和死区的改善。
通过以上几个方面的工艺、电池结构与性能的优化,我们在0.79m2的玻璃基板上制备出初始全面积转换效率12%以上的高转换效率的纳米硅基薄膜叠层太阳电池。
关键词:纳米硅薄膜电池,NP隧穿结,TCO,激光刻线
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