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PERL结构单晶硅太阳电池的研究
发布时间:2013-07-29    编辑:haoshiguang   
本文摘要:  陈丽萍1,2,王永谦1,王振交1,钱洪强1,2,陆红艳1,陈如龙1,杨健1   朱景兵1,施正荣1   (1.无锡尚德太阳能电力有限公司,江...

  陈丽萍1,2,王永谦1,王振交1,钱洪强1,2,陆红艳1,陈如龙1,杨健1
 
  朱景兵1,施正荣1
 
  (1.无锡尚德太阳能电力有限公司,江苏 无锡214028;2.江南大学 理学院,江苏 无锡214122)
 
  摘要:本文研究了钝化发射极背面局域扩散结构(PERL)的单晶硅太阳电池。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层,PECVD沉积掺硼氮化硅结合激光掺杂形成局部背场,依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极,电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池。对比了不同清洗条件对表面钝化的影响,背面电极不同烧结条件对单晶PERL电池电性能的影响,经优化后单晶电池转换效率达到了20.36%。
 
  关键词:单晶硅;背钝化;局域扩散
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