PERL结构单晶硅太阳电池的研究
发布时间：2013-07-29
编辑：haoshiguang
本文摘要： 陈丽萍1，2，王永谦1，王振交1，钱洪强1，2，陆红艳1，陈如龙1，杨健1 朱景兵1，施正荣1 （1.无锡尚德太阳能电力有限公司，江...
陈丽萍1，2，王永谦1，王振交1，钱洪强1，2，陆红艳1，陈如龙1，杨健1
朱景兵1，施正荣1
（1.无锡尚德太阳能电力有限公司，江苏 无锡214028；2.江南大学 理学院，江苏 无锡214122）
摘要：本文研究了钝化发射极背面局域扩散结构（PERL）的单晶硅太阳电池。通过采用SiO2/SiNx叠层膜作为背钝化介质层，PECVD沉积掺硼氮化硅结合激光掺杂形成局部背场，依次经过背面溅射铝、低温烧结形成背面电极，电镀形成正面电极制备PERL结构单晶硅太阳电池。对比了不同清洗条件对表面钝化的影响，背面电极不同烧结条件对单晶PERL电池电性能的影响，经优化后单晶电池转换效率达到了20.36%。
关键词：单晶硅；背钝化；局域扩散
专题报道
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