摘要：目前以采用碳化硅磨料和聚乙二醇类悬浮液配制的砂浆为主的游离磨料的多线切割技术是制备光伏用硅片的主流技术。这种切割方式会产生大量的废砂浆，故其使用和回收处理过程中的污染问题越来越受到人们的关注。固结磨料的金刚石线切割技术成为替代技术日益受到人们的重视。金刚线主要是将金刚石固结在钢丝表面，切割过程中主要是采用以水为主要成分的水溶性冷却液进行冷却。并且这种冷却液可以被回收再利用，这个使用过程中污染物排量放大大降低，并且可以提高切割速度，硅片表面质量也由于砂浆切割。

 

　　但目前金刚线主要以进口电镀金刚线为主，其价格较高，切割使用成本高于砂浆切割，故没有得到大范围的应用。本报告介绍了一种自行开发的低成本的树脂固结金刚石切割线，其切割使用成本低于进口金刚线，与砂浆切割成本接近。并介绍了树脂金刚线在改造后的砂浆切割设备上应用的情况。

 

　　Introductionofresinbonddiamondwireandapplication

 

　　Abstract:

 

　　Amulti-wiresawwithaloose-abrasivewirehasbecomeanestablishedtechnologyforslicingsiliconingotsinmassproduction.Inwaferslicingwiththeloose-abrasivewire,slurrycomprisedoflubricant(generally,glycol-basedchremicalsornonwater-solublecuttingfluid)andagreensiliconcarbide(GC)abrasiveisused.Therefore,alargeamountofindustrialwaste,includingwasteslurryandwires,isgeneratedwhenoneusesthesewires.Ontheotherhand,thefixed-abrasivewire,inwhichdiamondgritisattachedtoabarewire,hasbeendeveloped.Anadvantageofthisslicingmethodisthatitispossibletoslicewafersbysupplyingawater-solublecoolant(grindingfluid)withouttheneedforanyslurry.Moreover,thefixed-abrasivewiresawhasadvantagessuchasahigherslicingspeedandrecyclingofspentcoolant.

 

　　Althoughthefixed-abrasivewirewherethediamondgritisattachedtothewirebyelectroplatinghasbeensuccessfullydeveloped,oneissuetosolveisitshighproductioncost.Inordertoreducethecostofthefixed-abrasivewire,wehaverecentlydevelopedthetechniquewherediamondgritisfixedontothecorewirebyresinbondinginsteadofelectroplating.Theslicingcostoftheresinbonddiamondwireisnearlyoftheslurryslicingcost.Theresinbonddiamondisalsotestedbythepromotedfromslurrytypetodiamondtype.