比太科技新一代多晶硅RIE干法制绒装备技术
发布时间：2015-04-28     来源： PV-Tech
本文摘要：日前，常州比太科技有限公司（简称比太科技或Belight）宣布新一代中国自主研发的RIE干法制绒（即俗称的黑硅）多晶硅电池生产装备面世，此台称作Tysol-RIE的装备技术帮助晶澳太阳能率先突破多晶电池20%转换效率的世界最先进水平。
 
　　日前，常州比太科技有限公司（简称比太科技或Belight）宣布新一代中国自主研发的RIE干法制绒（即俗称的黑硅）多晶硅电池生产装备面世，此台称作Tysol-RIE的装备技术帮助晶澳太阳能率先突破多晶电池20%转换效率的世界最先进水平。
 
　　据了解，经过相关工艺优化，比太科技的干法制绒比传统湿法制绒可提升0.8%以上的转换效率。新一代RIE干法制绒，解决了长期困扰业界对多晶硅制绒困难，由于表面光反射导致效率损失1%的问题，使目前量产的多晶硅电池效率从18%左右提升到接近19%。
 
　　根据晶澳反馈，利用黑硅工艺的Riecium多晶组件不仅实现了高功率（275W）而且还有低衰减的卓越性能（500小时最坏环境负荷测试PID<2%）。
 
　　比太科技Tysol-RIE制绒采用了自主研发的先进线性等离子源技术，能够在多晶硅表面生产大小在300纳米左右的陷光绒面（见图1）。相比于其它黑硅绒面，其特点是表面容易钝化。与传统二维等离子源技术相比还具有反射率均匀性好，工艺稳定等优点，并经过了晶澳太阳能近一年的在线量产工艺稳定性验证，是目前中国太阳能电池制造领域唯一能实现RIE黑硅量产成功的设备。Tysol等离子源可以嫁接到6代线尺寸宽度的链式传输平台上（图2），产能达到3000片/小时以上。
 
　　对此，晶澳太阳能CTO单伟博士评价道：“比太科技RIE干法制绒的效果超出了我们预计,其设备的可量产性也达到我们的要求。比太科技在干法制绒设备上的突破，体现了中国高端太阳能电池制造装备超越世界的进步。我们与比太科技的合作成功-是光伏产业推动太阳能电池技术进步的一个范例。”
 
　　比太科技Tysol-RIE等离子技术已经在美国和中国分别获得多项发明专利，并在2012年获得江苏省科技厅颁发的重大技成果转化专项资金支持。
 
　　日前中国国家能源部和工信部联合发布了“领跑者计划”，要求新建和改扩建太阳能电池生产项目应满足多晶硅电池效率超过18.5%，组件不低于270W。
 
　　“相比于目前看得见的可量产技术，干法制绒黑硅是能以最低成本投入，获得最大效益的技术，并可以嫁接到传统的电池生产线上。我们很荣幸能为中国太阳能电池技术进步提供解决方案。”比太科技有限公司创始人兼CEO上官泉元博士表示。
 
　　比太科技成立于2011年1月，专注于新一代高效太阳能电池装备的研发和制造，获得坐落在美国硅谷的金沙江创投（GSRVenture）一期投资。比太科技在美国硅谷设立有先进技术研发中心，并通过常州“龙城英才”引进项目，在武进国家高新区设立研发和生产基地。金沙江董事总经理潘晓峰先生表示：“金沙江创投致力于支持世界一流技术团队在中国创业，我们非常荣幸地看到比太科技黑硅技术的研发成功。金沙江创投将继续联手其他基金，进一步支持比太科技下一步规模化量产能力的投入，为新能源技术的发展做贡献。”

 
关键词：多晶硅　

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