EHS职能部门介入设备安装设计阶段的主要好处是可以及早明确EHS问题，以使它们能够在设备安装之前得到缓解。

　　设备安装阶段

　　当AHJ发放了设备安装许可证（并给出了他们对于设计的评论和变更意见）之后，架设工作一般就将开始。对于工厂来说，它可以选择冒险，即在许可证发放之前就开始设备的安装。不过，如果AHJ对设计做出了重大变更，那么返工将会造成惨重的损失。若能在兼顾EHS的情况下进行正确的策划和设计，则安装过程中的返工量将是极少的。

　　设备启动阶段

　　降低商业风险的最后机会存在于设备启动阶段。此时，利用一种安装工艺认证对在设计和策划阶段的早期所确定的要素进行验证。该认证应采用一种结构化方法，并任命负责完成未完事项的责任人。一种被证实的设备工艺认证模型运用的是“三步程序”，它要求在每一步中进行检验和认证，以对因在该步骤中允许使用的公用事业设备所造成的职业危害加以控制。

　　步骤一：确保工具适合于供能和非工艺过程处理鉴定，并开启电源和无危险、非工艺过程处理公用事业设备（CDA、N2、PCW等）。该步骤使得能够安全地对工具进行通电、机器人校准、软件装载，并为随后的安装和鉴定步骤做好准备。此外，还对厂房所要求的建筑系统、出口、设备安全工作间隙和所需的支持设备进行了验证。

　　步骤二：确认所有的内部和外部安全系统和设施均已部署完毕，以便工具能够安全地接收包括危险化学成分的所有工艺公用事业设备。该步骤也将需要所有机构许可证的最终发放。步骤二结束后，设备便适于执行相关作业。

　　步骤三：为生产验收做好准备，并包括操作和维护规范的评审、必要的生产前工业卫生基线接触评定（针对化学和物理触媒剂），而且，现场验收项目清单中的任何未完之事项（来自先前的步骤）都将在该步骤之中完成。

　　在生产或研发设备的安装过程中尽可能早地发现和研究解决EHS问题为避免在安装之后招致重大的额外费用支出、进度延误和债务提供了契机，从而降低了总体EHS风险和商业风险。