目前我国的多晶硅产业已经由改良西门子法一法独大的格局，改变成如今的“三国演义”，改良西门子法、硅烷法、冶金法三种方法并存。

　　改良西门子法是将硅锭粉碎后与氯化氢反应生成三氯氢硅，再经过多次蒸馏将其提纯，然后通氢气将三氯氢硅还原为高纯硅。这种方法生产的多晶硅纯度高（可达电子级），可制作芯片，且工艺成熟、设备完善，但投资大（年产千吨投资超过10亿元），成本高（国内约70美元－75美元/公斤，国外约30美元－35美元/公斤），能耗大、污染重，且由国外公司掌握专利技术。目前该方法生产了占世界总产量76％的多晶硅。

　　硅烷法是利用硅烷热分解法生产纯度较高的电子级多晶硅产品。是将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。其能耗低，生产成本低，投资门槛较西门子法低1/3。但其存在爆炸危险，但是，近年来已有显著改善。中国已有企业掌握了硅烷法技术，完成了中试，900吨级生产线即将建成。目前该方法生产了占世界总产量23％的多晶硅。

　　而物理冶金法又称为冶金法，它是用类似冶金工业的一整套物理方法进行硅的提纯。物理法投资少（年产千吨投资1亿元左右），成本低（目前约10美元－20美元/公斤，可降低到10美元/公斤以下），污染和安全的问题少，有自主知识产权，经过努力其纯度可以满足制备太阳能电池的要求，但目前工艺尚不成熟、没有现成的完整设备，纯度较低，产品质量不够稳定。目前该方法生产了占世界总产量1％的多晶硅。

　　对于未来冶金法是否能成为主流方法，作为一项新兴的技术，要想得到认可必须要业界对于该技术达到一定的共识，有统一的技术标准也很重要，目前冶金法虽然可行但缺乏共识，同时还需要有政府的支持。