晶硅太阳能电池（cSi）是目前市场上最成熟、并得到广泛应用的太阳能光伏电池，在整个产业占有90%的市场份额。日前，世界知名高科技设备制造商Manz集团为满足不断增长的市场需求推出了业界领先的cSi生产解决方案，在PERC太阳能电池的生产在线得以量产出（背面钝化太阳能电池）平均效率高达20.6%的PERC电池。Manz此次展出两款生产PERC电池的关键设备参加SNEC第九届（2015）国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会（SNECPVPowerExpo2015），包括用于太阳能电池正面和背面钝化的VCS1200垂直真空镀膜系统，以及LAS2400激光开孔技术。该展会于4月28日至30日在上海新国际博览中心举行，是中国最具影响力的光伏（PV）太阳能产业展览会之一。Manz公司展位为E3厅535号展位。
 

Manz VCS 1200电浆辅助化学气相沉积(PECVD)垂直式真空镀膜系统
 

　　Manz拥有关键的设备和工艺技术帮助客户将其标准电池生产线转换成高效率PERC电池生产线，提高盈利并降低生产成本。Manz新一代生产工艺采用VCS1200垂直真空镀膜系统在电池背面沉积电介质钝化层，结合LAS2400激光开孔技术，可帮助电池生产企业实现高效晶硅太阳能电池的大批量生产并节省更多总拥有成本。同时，由于采用了易于维护的全自动化工具，Manz解决方案占用空间更小。VCS1200和LAS2400均适用于单晶硅和多晶硅太阳能电池生产。

 

　　ManzVCS1200系统在提升转换效率的同时也提高了生产率，树立了电池生产工艺新标杆。它采用独特的垂直加工技术，产量高达每小时1,200个硅片。这种垂直式构造结合全新的载具系统，可避免出现未镀区。简而言之，该镀膜工艺不会在硅片上留下任何针印或缺陷，是许多同类厂商系统所不具备的独特优势。此外，由于配备了高效能电浆源，Manz高性能PECVD工艺技术保障了最佳的加工再现性，以及业界最高水平的电池效率和均匀性。同时，该系统采用的“快速更换清洗”理念使电池制造企业得以在系统外部清洗工艺区和载具，实现了停机时间最小化。
 

Manz SpeedPicker 2.1优化版系统
 

　　在激光技术领域，Manz作为领先的激光加工系统提供商，结合自身强大的技术实力为客户提供关于激光工艺、光学、视觉和自动化方面的解决方案。公司最具代表性的激光加工设备为LAS2400激光开孔系统，已被多家知名太阳能电池制造商选用帮助他们成功实现高效PERC电池的量产。LAS2400系统采用独特的平顶式光斑设计，可实现30至80μm的光斑尺寸和不同的光斑形状，与高斯光束剖面相比可以更加灵活适应不同的工作平面位置，为客户提供了一个开孔均匀、高度稳定的工艺窗口。该系统采用模块化、小尺寸设计，非常适宜现有生产线的升级，每小时可处理2,400个硅片。此外，基于扫描头的灵活性允许客户自行设定开孔形状。结合VCS1200系统，ManzLAS2400系统可用于背面钝化层的局部电极开孔，是一款操作简单、高精度、高产出的解决方案。Manz激光开孔技术为一站式工艺，不仅在这一电池生产流程保证了最低拥有成本，还实现了硅片的安全处理，将破片率降至业界最低。未来Manz将继续凭借自身的技术实力和专业知识来推动PERCPECVD和激光开孔等技术的完善和升级。

 

　　利用业界领先的自动化系统，Manz帮助客户显着提高企业生产力和生产线产量。Manz知名的SpeedPicker2.1优化版系统目前是全球速度最快的自动化设备，在装载和卸载过程中可实现100%的检验率，每小时可处理3,400个电池芯片，并且拥有进一步提升处理能力的额外潜能。由于体积小巧，该系统可在有限空间内实现现有生产线的升级，是客户理想的投资选择。SpeedPicker使用特殊的视觉系统来进行校准对齐，因而大大降低了在生产流程中因机械校准操作而产生应力造成硅片破损。Manz升级版SpeedPicker包含位置验证和硅片校准等核心技术，可以识别边缘和棱角，有助于清理已损坏的硅片。

 

　　作为配套技术，Manz还提供了业界领先的湿化学加工工具IPSGCEI4800，以去除硅片背面及边缘的重掺杂层，从而形成化学除边（CEI）。此外，IPSGCEI4800还可去除在之前扩散过程中残留在硅片正面的磷硅玻璃（PSG）层。由于应用了柔软的海绵辊的概念并将基板机械应力降至最低，IPSGCEI4800可保障最低破片率。
 

Manz LAS 2400激光开孔系统
 

　　Manz集团首席执行官DieterManz表示：“经过多年的发展，Manz与世界各地的知名太阳能企业都建立了良好的技术合作关系。Manz近期获得的PERC生产解决方案订单总额已超过4000万人民币。包括晶澳太阳能（JASolar）、联景光电（Topcell）、新日光能源科技（NSP）、以及旭泓全球光电（中美硅晶宜兰分公司）在内的多家知名太阳能厂商都选用了我们的PERC生产解决方案来提高他们的生产率和产出质量。在中国市场，Manz赢得了全球知名电池制造企业的高度认可。作为唯一一家在工艺流程、激光和钝化领域具备雄厚专业技术实力，能够提供可靠自动化系统的设备提供商，我们可为客户提供技术领先的高效率PERC量产工具，帮助并支持太阳能厂商扩展产能。”

 

　　在光伏产业，Manz专注于晶硅太阳能电池和薄膜太阳能组件的生产工艺及解决方案。在晶硅太阳能领域，Manz致力于提供有关金属化、激光加工、湿化学和真空镀膜的工艺和设备、自动化解决方案、以及测试和检验技术。